空氣經(jīng)過(guò)深冷制氮機(jī)的過(guò)濾器、壓縮機(jī)、冷卻器、油水分離器、空氣預(yù)冷器、分子篩吸附器后進(jìn)入分餾塔、利用液氧、液氮沸點(diǎn)不同進(jìn)行分離氧氣和氮?dú)?，得到高純度氮?dú)狻Ｉ罾渲频獧C(jī)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)，減少維修量，全低壓流程、節(jié)能，全鋁分餾塔、不漏氣，進(jìn)口空壓機(jī)和冷凍機(jī)組。

   深冷制氮機(jī)的整個(gè)深冷制氮的整個(gè)流程由三個(gè)部分組成的，即空氣壓縮及凈化、空氣分離、液氮汽化。

1.空氣壓縮及凈化 
     深冷制氮是空氣經(jīng)空氣過(guò)濾器清除灰塵和機(jī)械雜質(zhì)后進(jìn)入空氣壓縮機(jī)，壓縮至所需壓力，然后送入空氣冷卻器，降低空氣溫度。再進(jìn)入空氣干燥凈化器，除去空氣中的水份、二氧化碳、乙炔及其它碳?xì)浠衔铩?nbsp;
2.空氣分離 
     凈化后的空氣進(jìn)入空分塔中的主換熱器，被返流氣體（產(chǎn)品氮?dú)?、廢氣）冷卻至飽和溫度，送入精餾塔底部，在塔頂部得到氮?dú)猓嚎战?jīng)節(jié)流后送入冷凝蒸發(fā)器蒸發(fā)，同時(shí)冷凝由精餾塔送來(lái)的部分氮?dú)?，冷凝后的液氮一部分作為精餾塔的回流液，另一部分作為液氮產(chǎn)品出空分塔。 
      由冷凝蒸發(fā)器出來(lái)的廢氣經(jīng)主換熱器復(fù)熱到約130K進(jìn)膨脹機(jī)膨脹制冷為空分塔提供冷量，膨脹后的氣體一部分作為分子篩的再生和吹冷用，然后經(jīng)消音器排入大氣。
3.液氮汽化 
    由深冷制氮裝置空分塔出來(lái)的液氮進(jìn)液氮貯槽貯存，當(dāng)空分設(shè)備檢修時(shí)，貯槽內(nèi)的液氮進(jìn)入汽化器被加熱后，送入產(chǎn)品氮?dú)夤艿馈?nbsp;深冷制氮可制取純度≧99.999%的氮?dú)狻?/div>